碳化硅
碳化硅為機械強度、熱穩定度、化學穩定度皆非常優異的化合物半導體, 其莫氏硬度為9,熔點2830°C, 只能以600°C 純KOH溶液蝕刻
• 碳化硅極高的3.26eV能隙對比起硅的1.12eV ,使碳化硅擁有下列優勢:
• 耐壓:10倍於硅基元件的耐電場強度
• 高效:相較於硅改善200倍以上的主要載子Ron, sp
• 穩定:因有相較硅更低20次方的ni,理論可操作溫度超過硅2倍以上
• 散熱:相較其他常見半導體材料約3倍更佳的熱傳導率
• 碳化硅極高的3.26eV能隙對比起硅的1.12eV ,使碳化硅擁有下列優勢:
• 耐壓:10倍於硅基元件的耐電場強度
• 高效:相較於硅改善200倍以上的主要載子Ron, sp
• 穩定:因有相較硅更低20次方的ni,理論可操作溫度超過硅2倍以上
• 散熱:相較其他常見半導體材料約3倍更佳的熱傳導率